【摘 要】
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采用常压化学气相沉积（APCVD）法在SiO2/Si（300 nm）衬底上制备最大尺寸为74.22μm的多层二硫化钨（WS2）薄膜，并在蓝宝石衬底上合成边缘清晰、形状规则、最大尺寸为41.89μm的WS2薄膜.通过光学显微镜（OM）、扫描电子显微镜（SEM）、 Raman光谱仪和光致发光谱仪（PL）等对制备的样品进行表征，并结合样品的形貌尺寸分析生长温度、钨源和氯化钠（NaCl）用量比例、不同衬底
【基金项目】
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甘肃省重点人才基金项目（批准号：2020RCXM100）； 甘肃省自然科学基金（批准号：21JR7RA296）；
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采用常压化学气相沉积（APCVD）法在SiO2/Si（300 nm）衬底上制备最大尺寸为74.22μm的多层二硫化钨（WS2）薄膜，并在蓝宝石衬底上合成边缘清晰、形状规则、最大尺寸为41.89μm的WS2薄膜.通过光学显微镜（OM）、扫描电子显微镜（SEM）、 Raman光谱仪和光致发光谱仪（PL）等对制备的样品进行表征，并结合样品的形貌尺寸分析生长温度、钨源和氯化钠（NaCl）用量比例、不同衬底等实验参数对生长WS2薄膜的影响.实验结果表明：温度对APCVD生长WS2薄膜影响最大，高温有助于生长高结晶质量的WS2薄膜，温度越高，薄膜形状越规则；在最佳温度下，波数差越小，薄膜层数越少，晶粒缺陷越少，发光强度越高；不同温度对应的钨源和氯化钠用量比不同，加入适量的氯化钠有助于提高反应系统中钨源的过饱和度，促进反应顺利进行，更有利于WS2薄膜生长；不同衬底制备WS2薄膜的生长系统所需生长温度不同，在相同的实验条件下，蓝宝石衬底上所需的生长温度更高.
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