【摘 要】
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以基于二维简正模式的微机电系统（MEMS）超声分离器的结构模型为研究对象,首先根据声电类比原理,得到超声分离腔的二维等效电路模型,通过该模型分析计算二维简正模式的谐振频率;
【机 构】
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电子科技大学成都学院,河南城建学院土木与材料工程系
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以基于二维简正模式的微机电系统（MEMS）超声分离器的结构模型为研究对象,首先根据声电类比原理,得到超声分离腔的二维等效电路模型,通过该模型分析计算二维简正模式的谐振频率;接着通过Ansys软件对MEMS超声分离器进行有限元的仿真分析,验证了等效电路模型的可行性,并得到了最佳激发频率;最后在实验中分别采用单片PZT激发（2,1）阶和双片反相位PZT激发（1,1）阶的简正模式,均取得了一定分离的效果。
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