三分量光弹波导混合集成加速度传感器

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zn19861225

【摘要】

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三分量光弹波导M-Z干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶

【作者】

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唐东林陈才和崔宇明王金海

【机构】

：

天津大学精密仪器与光电子工程学院

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2005年7期

【关键词】

：

混合集成三分量加速度传感器光弹波导马赫-曾德干涉光学效应 Hybrid-integrated Three-component acceleromete

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三分量光弹波导M-Z干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双M-Z干涉仪及各集成器件:波导相位调制器、波导偏振器.三分量光弹波导M-Z干涉型集成加速度传感器测试表明:该传感器动态范围宽、线性性好.主要参数为:相位灵敏度达1.81×10-4Rad/m·s-2;工作频带3～1506(Hz).

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