基于单晶硅制绒金字塔生长异常的解决方法

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本文研究的是单晶硅太阳能电池碱制绒后出现异常表面的分析方法。以正常生产中出现的亮片表面为例,进行全面解析,通过SEM对不同制绒后的片进行金字塔的大小测量及ImageJ软件统计单位面积的金字塔个数进行数据比较得到基础数据,分析影响晶体硅金字塔结构生长异常的原因,便于查找相关的工艺和设备问题,为晶体硅太阳能制绒的正常生产提供了数据分析参考和经验积累。
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