【摘 要】
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介绍了微位移器的静、动态特性，实验结果表明：ＩＰ１型微位移器线性度可达０．１２％，重复精度为０．０１μｍ。还比较了ＩＰ１型和ＥＬＳ１型微位移器的性能区别供应用选择时参考．
The static and dynamic characteristi
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介绍了微位移器的静、动态特性，实验结果表明：ＩＰ１型微位移器线性度可达０．１２％，重复精度为０．０１μｍ。还比较了ＩＰ１型和ＥＬＳ１型微位移器的性能区别供应用选择时参考．
The static and dynamic characteristics of the microdisplacer are introduced. The experimental results show that the microrod IP1 has linearity of 0.12% and repeatability of 0.01 μm. It also compares the performance of the IP1 and ELS1 microdisplaceers for reference when selecting supplies.
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