【摘 要】
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本文简要介绍玻璃钝化技术的基本原理和优越性。重点介绍采用熔凝玻璃作为高频高压硅堆的钝化层和兼作外形封装材料的工艺过程,工艺条件及钝化效果。
This article briefly
【机 构】
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江苏如皋电子研究所,如皋无线电厂,如皋无线电厂
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本文简要介绍玻璃钝化技术的基本原理和优越性。重点介绍采用熔凝玻璃作为高频高压硅堆的钝化层和兼作外形封装材料的工艺过程,工艺条件及钝化效果。
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