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利用热阴极离子镀膜技术在硬质合金上制备CrNx薄膜。在400℃-800℃区间选取7个温度对试样进行氧化处理后,通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、自动划痕仪、精密电子天平进行成分、结构及性能分析,研究其氧化过程和性能。结果表明：在700℃以下,CrNx薄膜具有良好的抗高温氧化性。
硬质CrN_x薄膜的高温氧化研究
【摘 要】
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利用热阴极离子镀膜技术在硬质合金上制备CrNx薄膜。在400℃-800℃区间选取7个温度对试样进行氧化处理后,通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、自动划痕仪、精密电子天平进行成
【机 构】
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西华大学材料科学与工程学院
【出 处】
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西华大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年6期
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