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综述了半导体硅的市场、生产及科技新进展,介绍了国内外的发展趋势,提出了加快我国半导体硅材料发展步伐的几点意见。
简谈半导体硅材料的现状与发展趋势
【摘 要】
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综述了半导体硅的市场、生产及科技新进展,介绍了国内外的发展趋势,提出了加快我国半导体硅材料发展步伐的几点意见。
【机 构】
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峨嵋半导体材料研究所,峨嵋半导体材料研究所
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1993年03期
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