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微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础.文章介绍了MEMS CAD的概况和技术特点,提出了一种MEMS CAD的典型体系结构和MEMS建摸与模拟的层次,重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键问题.
微机电系统计算机辅助设计的研究
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础.文章介绍了MEMS CAD的概况和技术特点,提出了一种MEMS CAD的典型体系结构和MEMS建摸与模拟的层次,重点研
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2003年6期
【基金项目】
：
电子科技大学校科研和教改项目
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