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本文介绍了一种适合硅粒了探测器的自动中测系统，可同时测量１６个样品，全部由微机控制，数据存放在微机中，可以给出了统计数据，也可绘出特性曲线，从而大大提高了测试效率与质量，目前用于测量硅粒子探测器反向Ｉ－Ｖ曲线，实验表明，本装置测得的数据是可靠的，并大大提高了效率。
硅粒子探测器自动中测系统
【摘 要】
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本文介绍了一种适合硅粒了探测器的自动中测系统，可同时测量１６个样品，全部由微机控制，数据存放在微机中，可以给出了统计数据，也可绘出特性曲线，从而大大提高了测试效率与质量，目前用于
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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核电子学与探测技术
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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