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综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点讨论掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点。并指出，为了进一步提高透明导电薄膜的性能，应从以材料选择、制备工艺、多层膜光学设计等方面深入研发，以满足尖端技术的需要。
掺铝氧化锌（AZO）导电薄膜的研究进展
【摘 要】
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综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点讨论掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点。并指出，为了进一步提高透明导电薄膜的性
【机 构】
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陕西科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2006年3期
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