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利用电子束热蒸发镀膜的方式，以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料，以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜。研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响。通过拉曼（Raman）谱和X射线衍射（XRD）谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构，表明所制备的ZnO薄膜为非晶态。用光致发光（PL）谱表征了它的发光特性，数据表明在250℃时制备的非晶态ZnO薄膜在波长389 nm处具有极强的紫外光发射，在波长431 nm处发出很强的紫光，在波长519 nm处发出较强的黄绿光。