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Synthesis and properties of Cr-Al-Si-N films deposited by hybrid coating system with high power impu

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：awind54335

【摘 要】

：

The CrN and Cr-Al-Si-N films were deposited on Si wafer and SUS 304 substrates by a hybrid coating system with high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS)

【作 者】

：

Min Su KANG Tie-gang WANG Jung 

【机 构】

：

SchoolofMaterialsScienceandEngineering,StateKeyLaboratoryofCorrosionandProtection,NationalCoreResear

【出 处】

：

中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2012年S3期

【关键词】

：

Cr-Al-Si-N film high power IMPULSE MAGNETRON SPUTTERING DC pulsed SPUTTERING hig 

【基金项目】

：

supported by a 2-Year Research Grant of Pusan National University,Korea

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The CrN and Cr-Al-Si-N films were deposited on Si wafer and SUS 304 substrates by a hybrid coating system with high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) and a DC pulse sputtering using Cr and AlSi targets under N2/Ar atmosphere.By varying the sputt

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