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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已在产业化道路上发展,NEMS还处于基础研究阶段.分析了微/纳机电系统的发展特点,简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题以及它们的发展前景.
微/纳机电系统
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已在产业化道路上发展,NEMS还处于基础研究阶段.分析了微/纳机电系统的发展特点,简要地介绍了典型的
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2003年2期
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