论文部分内容阅读
通过对电容式微机电系统(MEMS)压力传感器的结构和工作原理的分析,建立了基于随机模型的稳健设计数学模型,并且编写相应的算法程序,对稳健设计模型进行求解.结果表明:稳健设计方法不仅可以保证传感器具有较高的灵敏度,还能保证设计解的稳健性.
电容式MEMS压力传感器的稳健设计研究
【摘 要】
：
通过对电容式微机电系统(MEMS)压力传感器的结构和工作原理的分析,建立了基于随机模型的稳健设计数学模型,并且编写相应的算法程序,对稳健设计模型进行求解.结果表明:稳健设计方法不仅可以保证传感器具有较高的灵敏度,还能保证设计解的稳健性.
【机 构】
：
北方工业大学机械与材料工程学院,北京100144
【出 处】
：
传感器与微系统
【发表日期】
：
2021年12期
其他文献
提出了从纹理触觉感知心理物理学实验中,利用非度量多维尺度分析方法确定纹理触觉感知特征参数,并建立纹理触觉感知特征参数与客观刺激特征参数的回归分析模型,从而全面刻画了客观刺激与主观感知之间的关系.通过所提方法最终建立的客观刺激特征参数(振动能量、振动频率、等效刚度系数以及力的变化率)与纹理触觉感知特征参数的相关性模型,具有较好的线性相关性,R2为0.9以上.通过与前人研究比较,证明了本模型在客观刺激/主观感知规律的描述上具有较好的一致性和全面性.
为充分利用超声波近距物理测距的技术优势,改善装备空间感知能力,提出了一种基于超声波传感器阵列的空间增强感知方法.空间上紧密排列6只超声波传感器用于构建超声波传感器阵列;通过人工标定的方法对各传感器进行测量校准;采用STM32单片机依次激发各超声波传感器,并接收各感知数据;经通用同步异步收发器(USART)串口通信上传数据至上位机.融合多超声波传感器采集到的数据画出散点图.RANSAC和最小二乘法两种方法被用于拟合点云,并获取被测物外形参数.分别在20,25,30,300 mm距离下,将阵列应用于平面、柱面
采用Eye-to-hand方式固定安装摄像头,实现单目视觉引导的五自由度机械手定位方法.搭建了以STM32F4系列芯片为主控芯片的控制平台,运用蒙特-卡罗数值分析法求解关节机械手工作空间云点图,进行三次多项式插值.最后以三维积木道具作为实验对象,利用改进后的Harris角点检测算法结合人工辅助标识点,在多种规格积木中提取感兴趣目标进行识别和定位.实验结果证明:在世界坐标系参考下Z轴方向的位置平均相对误差为7.096％,Φ偏航角姿态估计平均相对误差为19.58％,在实现目标快速定位上具有一定参考价值.