【摘 要】
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本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中,在中等测量范围内,具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜.它的诞生,可使目前用于纳
【机 构】
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德国联邦物理技术研究院,柏林中国计量科学研究院,北京,100013;
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本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中,在中等测量范围内,具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜.它的诞生,可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化,并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接.使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象,并对它们进行更精确的分析.文章对计量型原子力显微镜进行了理论分析,提出了对各种测量误差的抑制及其补偿方法,并进行了大量的实验,得到良好的结果.目前,该计量型原子力显微镜在其测量范围内,任意两点间距离的测量不确定度为U95=5nm+2×10-4l;在z-轴上的测量不确定度为U95=(1.1～1.2nm)+2×10-4h.
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