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本文介绍了ＡＥＳ测薄膜厚度的原理和方法，分析了测试过程中的各种误差，并探讨了各种误差的修正方法。
AES测薄膜厚度的误差分析与修正
【摘 要】
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本文介绍了ＡＥＳ测薄膜厚度的原理和方法，分析了测试过程中的各种误差，并探讨了各种误差的修正方法。
【机 构】
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中国计量学院机电工程教研室
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2000年5期
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