【摘 要】
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在熔融石英玻璃衬底上，通过注入氮离子和硼离子，制成了低损耗、单模平面光波导．波导的最大折射率和离子浓度分布的半宽度分别是１．４８和０．５μｍ，波导损耗＜０．１ｄＢ／ｃｍ．
On fused silica glass substrates
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在熔融石英玻璃衬底上，通过注入氮离子和硼离子，制成了低损耗、单模平面光波导．波导的最大折射率和离子浓度分布的半宽度分别是１．４８和０．５μｍ，波导损耗＜０．１ｄＢ／ｃｍ．
On fused silica glass substrates, low-loss, single-mode planar optical waveguides are made by implanting nitrogen and boron ions. The half width of the waveguide’s maximum refractive index and ion concentration distribution are 1.48 and 0.5 μm, respectively, and the waveguide loss is <0.1 dB / cm.
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