【摘 要】
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功率晶体管的电特性和热特性在理论上已有论述,但是在制作过程中,要保证电压性能、放大性能,提高成品率,降低成本,目前还是我们研究的课题。本文讨论外延平面功率晶体管的结
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功率晶体管的电特性和热特性在理论上已有论述,但是在制作过程中,要保证电压性能、放大性能,提高成品率,降低成本,目前还是我们研究的课题。本文讨论外延平面功率晶体管的结构和工艺条件对器件性能的影响。
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