【摘 要】
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介绍了新型的结合电子回旋共振（ECR）微波等离子体气相沉积与磁控溅射镀膜特点的ECR一650型镀膜系统，并利用该系统通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiNx／TiNx
【机 构】
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深圳大学材料科学,与工程学院特种功能材料重点实验室
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介绍了新型的结合电子回旋共振（ECR）微波等离子体气相沉积与磁控溅射镀膜特点的ECR一650型镀膜系统，并利用该系统通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiNx／TiNxCy，中间层结构的C薄膜。由于镀膜工艺问题，得到的薄膜主要由石墨构成。研究了制备时不同的气压和氩气分压对薄膜表面形貌、硬度等的影响。
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