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对非晶态Fe-Cr-Al/Si薄膜研究了方块电阻与灵敏度、电阻温度系数、电阻率以及薄膜厚度等的关系;根据升温时薄膜电阻开始剧变推算了薄膜的晶化温度,并评估了Fe-Cr-Al/Si薄膜作为力传感器敏感材料的品质。
Fe—Cr—Al／Si非晶态薄膜的电阻—应力特性
【摘 要】
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对非晶态Fe-Cr-Al/Si薄膜研究了方块电阻与灵敏度、电阻温度系数、电阻率以及薄膜厚度等的关系;根据升温时薄膜电阻开始剧变推算了薄膜的晶化温度,并评估了Fe-Cr-Al/Si薄膜作
【机 构】
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北京航空航天大学,北京航空航天大学
【出 处】
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航空学报
【发表日期】
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1991年8期
【基金项目】
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航空航天工业部科学研究基金
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