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亚纳米量级光滑表面的超精密抛光

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aonHdt6b

【作 者】

：

高宏刚  陈斌  张俊平  曹健林 

【出 处】

：

仪器仪表学报

【发表日期】

：

1997年02期

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