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镀层厚度对微电子封装外壳的可靠性具有重要影响.分析了 X镀层测厚的原理以及单一镀层测量的饱和厚度.通过工艺实验总结出了双层镀层厚度测量的基线范围.
X射线光谱法测量镀层厚度的适用范围的研究
【摘 要】
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镀层厚度对微电子封装外壳的可靠性具有重要影响.分析了 X镀层测厚的原理以及单一镀层测量的饱和厚度.通过工艺实验总结出了双层镀层厚度测量的基线范围.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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华东科技：学术版
【发表日期】
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2017年7期
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