【摘 要】
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作为重点技术攻关项目，超精密机床的研制关键在于在线检测系统能否准确地定位测量。本文研究了精密定位测量系统，采用开放式体系结构，因而使系统具有通用性好、适应性强、采集速
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作为重点技术攻关项目，超精密机床的研制关键在于在线检测系统能否准确地定位测量。本文研究了精密定位测量系统，采用开放式体系结构，因而使系统具有通用性好、适应性强、采集速度快、结构紧凑的特点，为实现超精密加工奠定了基础。
As a key technology research project, the key to the development of ultra-precision machine tools lies in the on-line detection system can accurately locate the measurement. In this paper, the precise positioning and measuring system is studied, and the open architecture is adopted. So the system has the advantages of good universality, strong adaptability, fast acquisition speed and compact structure, which lays the foundation for realizing ultra-precision machining.
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