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●深紫外激光、明场和暗场技术为硅片提供近2倍的光强,实现一流的检测灵敏度●专有图像处理运算可降噪50%,能检测到密集结构上的缺陷
应用材料公司独一无二的UVision5系统为亚20nm世代提供世界一流的图形检测能力
【摘 要】
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●深紫外激光、明场和暗场技术为硅片提供近2倍的光强,实现一流的检测灵敏度●专有图像处理运算可降噪50%,能检测到密集结构上的缺陷
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年7期
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