【摘 要】
：
化学机械抛光（chemical mechanical polishing,CMP）技术和超精密晶圆减薄技术是超大规模集成电路晶圆制造工艺流程中的两大关键技术。本文简述了近年来国内集成电路制造领域中化学机械抛光设备和超精密晶圆减薄设备的相关研究。一方面,从抛光头、抛光垫修整装置、终点检测装置、清洗装置4个CMP设备的核心部件,以及抛光垫和抛光液2个CMP关键耗材出发,总结归纳了国内外化学机械抛光设备
论文部分内容阅读
化学机械抛光（chemical mechanical polishing,CMP）技术和超精密晶圆减薄技术是超大规模集成电路晶圆制造工艺流程中的两大关键技术。本文简述了近年来国内集成电路制造领域中化学机械抛光设备和超精密晶圆减薄设备的相关研究。一方面,从抛光头、抛光垫修整装置、终点检测装置、清洗装置4个CMP设备的核心部件,以及抛光垫和抛光液2个CMP关键耗材出发,总结归纳了国内外化学机械抛光设备的最新研究进展;另一方面,从超精密晶圆减薄技术的原理出发,对超精密晶圆减薄设备在国内的应用现状进行了总结。
其他文献
针对传统丘陵山地农业灌溉通常采用人工控制电磁阀进行灌溉所出现的水资源浪费、人工成本高等问题，设计了一套基于模糊控制和PID控制的丘陵山地农作物自动灌溉控制系统，将PID控制的稳定性和模糊控制的适应性相结合来控制灌溉时长。通过Simulink搭建的丘陵山地灌溉系统，分别用常规PID和模糊PID来控制该系统进行仿真实验。结果表明：模糊PID控制下的系统相比于常规PID控制，超调量和调节时间都明显降低，
分析不同灌溉方式对大棚西红柿产量和品质的影响，从而探索适宜的灌溉方式，促进大棚西红柿产量的不断提升。以辽宁省阜新蒙古族自治县某农业种植基地作为试验地，以大棚西红柿为试验对象，采用正交设计，设置3种灌溉方式，即沟灌（CK1）、滴灌（CK2）、地下滴灌（D）；地下滴灌灌溉量设置3个水平，即0.5 L/株（A）、0.75 L/株（B）、1 L/株（C）；地下滴灌毛管埋设深度设置3个水平，即10 cm（a
近年来音乐被广泛用作环境富集条件以改善圈养动物的生存环境。猪有复杂的认知,音乐是否能给猪只带来积极的情感体验仍需探究。此外,肠道是机体重要的消化和免疫器官,而音乐对肠道健康状态会产生怎样的变化,有必要进一步探索。本试验旨在探究:1)短期音乐刺激对断奶仔猪积极情绪和行为反应的影响;2)音乐对仔猪肠道屏障功能和肠道健康状态的影响。本试验选择72头断奶仔猪随机分为三组,分别置于60-70d B的音乐环境
无线传感器网络（Wireless Sensor Networks,WSN）由大量随机分布的传感器节点组成,可完成信息收集、处理和传播等工作,在军事侦察、农业监测和工业控制等诸多重要领域有着广泛的应用。由于WSN常被安置于一些荒无人烟的危险复杂之地,其面临的网络安全威胁也逐渐增多。因此,如何有效抵御网络中存在的恶意攻击,设计合理有效的网络安全算法已成为WSN安全领域中最重要的研究内容之一。本文对WS
本文以嘉兴市长水塘灌区为研究对象，建立基于系统动力学的灌区水循环过程模拟模型，并引入灌片灌溉水回归系数，应用于灌区灌溉回归水重复利用量模拟分析以及多尺度下灌溉用水量计算。结果表明：通过对模型的率定与验证，模拟得到典型泵站模拟水量与实测值基本吻合，相对差绝对值均在15%以内，模拟得到的灌区河网水位变化趋势与实测过程基本一致。模型能够较好的反映灌区水量转化过程，能够为灌区灌溉用水量统计工作提供支撑。
海洋,作为地球上最广阔的水体,其蕴藏着大量的可供人类开发利用的矿物、石油等稀缺资源,设计可靠和安全的水下无线传感器网络（Underwater Wireless Sensor Network,UWSN）对海洋环境监测、海洋开发等研究领域具有重要的研究价值。UWSN采用水声通信,水声信道具有低数据率、长传播时延、窄带宽、高误码率等特点。此外,水声信道的开放和共享特性,使得UWSN面临各种威胁和攻击。然
随着流程工业的不断成熟与发展,工艺流程趋向大型化和复杂化,如何精确及时地发现并处理故障,是保证过程安全性、防止灾难性事故发生的关键所在。近年来,伴随着数据采集和数据存储技术的发展,所记录的流程数据呈现爆炸式增长,基于数据驱动的故障诊断方法得到了广泛的应用。然而,在实际工业运行过程中,从复杂工业过程中提取的数据通常伴随着不平衡特性,具体表现如下:第一,样本价值不平衡特性表现为原始数据通常具有多个特征
无线传感器网络是物联网感知层众多异构网络中的一种。近年来,随着物联网技术在工业控制、环境监测、仓储物流等场景的广泛应用,各类无线传感器网络接入设备产生的数据也呈几何式地增长。传统的无线传感器网络在资源管理、业务处理、服务质量等方面面临着极大的挑战,并且由于能量、存储和计算资源受限,无线传感器网络路由优化问题尤为重要。现有的无线传感器网络路由算法在海量的数据传输、多种业务服务以及动态配置和优化等方面
以江西省的江口灌区为例,探究不同因素对灌区灌溉用水有效利用系数的影响。基于灌区基本情况以及灌溉用水有效利用系数的计算方法 ,分析地形地貌、土壤地质、供用水量、水利投资和工程效益这5项因素对灌区灌溉用水有效利用系数的影响。结果表明,位于平原地区并且以壤土为主的灌区,采取增加水利投资推广节水灌溉技术,加强水利设施建设等措施,能够让灌溉用水的有效利用系数得到提升,达到节水增产的效果。