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本文就美国“应用科学技术公司ＡＳＴｅＸ Ｉｎｃ．”近几年来在研制、生产和销售先进的微波源，系列反应腔和成套微不皮等离子体加工设备等方面的快速发展状况，说明微波等离子体在新材料、微电子等高新科技领域的应用前景，并对比分析我国的现状和发展方向。
从美国ASTeX Inc.公司的发展看微波等离子体在高新技术领域的应用前景
【摘 要】
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本文就美国“应用科学技术公司ＡＳＴｅＸ Ｉｎｃ．”近几年来在研制、生产和销售先进的微波源，系列反应腔和成套微不皮等离子体加工设备等方面的快速发展状况，说明微波等离子体在新材料、微电子
【机 构】
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电子科技大学高能所七室
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1996年1期
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