【摘 要】
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提出一种基于微镜构成的空间螺旋光路的干涉式MOEMS陀螺，并对其进行了原理验证实验研究。此种光路结构中光束在自由空间传播，可减少损耗；无耦合问题，无背向散射；无运动部件，并且可
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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提出一种基于微镜构成的空间螺旋光路的干涉式MOEMS陀螺，并对其进行了原理验证实验研究。此种光路结构中光束在自由空间传播，可减少损耗；无耦合问题，无背向散射；无运动部件，并且可利用微光机电工艺进行加工。在理论分析的基础上，通过实验设计，利用锁相放大器等对处于一定转速转台上陀螺的输出信号进行检测，得到的转台转速与实际转速比较结果非常接近，实现了陀螺的Sagnac效应原理验证，零漂8．16（°）／h.
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