InP阵列波导光栅的误差分析

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lequ123123

【摘要】

：

在InP阵列波导光栅的制作过程中会引入不同的误差,从而影响器件的性能.为了最大限度地控制误差,提高半导体器件性能,本文采用传输函数法对InP基阵列波导光栅的系统误差和随机

【作者】

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潘盼安俊明王亮亮张俪耀王玥胡雄伟

【机构】

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中国科学院半导体研究所

【出处】

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光子学报

【发表日期】

：

2013年3期

【关键词】

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InP阵列波导光栅简单传输函数法系统误差随机误差 InP arrayed waveguide grating Transmission function

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划光子集成技术与系统应用（No.2011AA010303）,基金委重大项目-高速光电子集成基础研究（No.61090390）,重点项目（No.60837001）,面上项目（Nos.61275029,61274047）,青年科学基金项目（No.61205044）资助

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在InP阵列波导光栅的制作过程中会引入不同的误差,从而影响器件的性能.为了最大限度地控制误差,提高半导体器件性能,本文采用传输函数法对InP基阵列波导光栅的系统误差和随机误差分别进行了分析.从系统误差的模拟结果中可以得到如下结论：深脊型波导的有效折射率nc平均每偏移＋0.000 1,中心波长偏移＋0.05nm.相邻阵列波导长度差ΔL每偏移＋0.01μm,中心波长将偏移＋0.44nm.nc和ΔL仅仅会影响到传输谱中心通道及其他各通道对应的波长,使得传输谱发生整体漂移,而信道间隔及串扰不会改变.罗兰圆半径R偏

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