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采用超音速微粒轰击技术（Supersonic Fine Particles Bombarding，SFPB）对调质态合金钢38CrSi进行表面纳米化处理；利用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜等分析技术研究不同工艺条件下表面纳米化层的微观组织结构特征。结果表明：经SFPB处理后，材料表层组织严重细化，并形成了纳米结构层（晶粒尺寸〈100nm），随处理时间的延长，最表面纳米晶的尺寸变化不大，纳米结构层的厚度有所增加；当处理时间为240s时，在最表面层形成了平均晶粒尺寸约为16nm的具有随机取向的等轴纳米晶。纳米