基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tp137907226

【摘要】

：

报道了一种利用MEMS技术制备,基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外焦平面阵列(FPA)并配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8～14μm光谱区得到成像.基于该结构的非制冷红外成

【作者】

：

王玮冰叶甜春陈大鹏伍小平张青川潘亮段志辉

【机构】

：

中国科学院微电子中心,中国科学技术大学力学与机械工程系

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

双材料悬臂梁非制冷红外成像系统 MEMS 焦平面阵列光力学效应

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报道了一种利用MEMS技术制备,基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外焦平面阵列(FPA)并配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8～14μm光谱区得到成像.基于该结构的非制冷红外成像系统利用的是光力学效应原理.我们采用MEMS表面硅工艺制备FPA,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理,工艺制备难点和响应结果.

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