【摘 要】
：
硅片CMP工艺会引入表面缺陷和沾污,通常采用NaOH和KOH作为腐蚀溶液,利用微腐蚀法将硅片表面的损伤污染层剥离,以免导致IC制备过程中产生二次缺陷,但会不可避免地引入金属离子
【机 构】
：
河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津,300401
论文部分内容阅读
硅片CMP工艺会引入表面缺陷和沾污,通常采用NaOH和KOH作为腐蚀溶液,利用微腐蚀法将硅片表面的损伤污染层剥离,以免导致IC制备过程中产生二次缺陷,但会不可避免地引入金属离子.制备了一种用螯合剂和表面活性剂复配的新型清洗液,利用螯合剂对硅片表面损伤层进行微腐蚀,同时采用表面活性剂去除硅片表面吸附的微粒.经台阶仪和原子力显微镜检测,该清洗液能有效去除硅片表面损伤层和颗粒,同时螯合剂本身不合金属离子,并且对金属离子有螯合作用,可有效避免传统腐蚀液中金属离子带来的二次污染.
其他文献
目的 观察5-脂氧合酶(5-LOX)对缺氧诱导的视网膜新生血管形成的抑制作用,探讨视网膜新生血管形成的可能机制.方法 鼠龄为7d的C57BL/6J幼鼠随机分为正常组、氧诱导视网膜病变(OIR)模型组、大剂量干预组、小剂量干预组、干预对照组.各组分别为12只.除正常组外,其余各组小鼠与哺乳母鼠共同置于氧浓度为(75±2)％的氧箱内饲养5d后转移至正常环境中饲养5d,建立OIR模型.12～17日龄时,
12月2日 中国制造2025与德国工业4.0战略对接 “过去，德国企业对华投资额是中国在德投资的30倍。现在，中国工业庞大的创新需求正在改变这种情况。由于实施工业4.0战略，德
MoS2 has attracted attention as a promising hydrogen evolution reaction (HER) catalyst and a super-capacitor electrode material. However, its catalytic activity
雷公藤内酯醇(TRI)是从雷公藤中分离出来的二萜内酯化合物,是雷公藤抗炎及免疫抑制作用的主要成分之一.我们通过大鼠肾缺血再灌注损伤模型,观察TRI对肾缺血再灌注损伤的保护作用,并探讨其作用机制.
1 引言近年来 ,由于地网接地线及导体截面不够 ,而引起的重大设备事故屡有发生。从一些雷击事故的调查分析报告中可以看到 ,因输变电工程接地装置不合格给电力网安全运行带
Silica nanoparticles have been one of the most promising nanosystems for biomedical applications due to their facile surface chemistry and non-toxic nature. How
目的 观察Notch信号通路抑制剂对鼠Müller细胞来源的视网膜干细胞的调控作用.方法 Sprague Dawley大鼠20只,鼠龄10～20 d.显微镜下分离视网膜,采用反复不完全胰蛋白酶消化法传代培养.取传代3次的细胞用于实验.Müller细胞诱导去分化,荧光显微镜下观察细胞增生状态,免疫荧光细胞化学染色,逆转录-聚合酶链反应(RT-PCR)、蛋白免疫印迹法(Western blot)检测视
近年来，全球各地的气候环境发生了极大变化，城市气象灾害问题日益突出，尤其在我国城市化进程不断深入的背景形势下，城市气象灾害问题已经成为严重影响国家经济快速发展以及人们健
Transition-metal nitrides exhibit wide potential windows and good electrochemical performance, but usually experience imbalanced practical applications in the e