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研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型，详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明，考虑通孔自热效应后，使有效热导系数的计算更加符合实际情况，为进一步分析USLI的热学模型提供了理论依据。
ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数
【摘 要】
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研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型，详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明，考虑通孔自热效
【机 构】
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华南师范大学计算机学院
【出 处】
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电子技术应用
【发表日期】
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2006年8期
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