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微小流导测量系统
微小流导测量系统
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdqbupt
【摘 要】
:
介绍了一套微小流导测量系统,它集成了定容法、定压法和线性规方法。各种方法可以满足不同量限的测量需求,可在原位进行测量,互相验证准确性。该系统能够测量流导前的压力在0.1Pa
【作 者】
:
王金库
于红燕
葛楚鑫
【机 构】
:
中国计量科学研究院,北京,100029
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
2014年9期
【关键词】
:
微小流导
定容法
定压法
线性规法
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介绍了一套微小流导测量系统,它集成了定容法、定压法和线性规方法。各种方法可以满足不同量限的测量需求,可在原位进行测量,互相验证准确性。该系统能够测量流导前的压力在0.1Pa到1×105 Pa时所对应的流导值,可用于研究流导值与流导前压力的特性关系。
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