【摘 要】
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采用金属有机物化学气相沉积法，在不通入活性气体的条件下，研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响。在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶
【机 构】
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西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(“863”计划)项目(2002AA305306)
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采用金属有机物化学气相沉积法，在不通入活性气体的条件下，研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响。在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层。分析表明：铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成，220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层，185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层。铱涂层表面光滑均匀，无明显缺陷。
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