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该技术是在离子镀技术上发展起来的一项镀膜技术。在真空室内采用真空弧光放电方法激发阴极材料．形成原子和离子，在电场作用下．原子和离子束高速轰击作为阳极的工件表面。与此同时向真空室内通入反应气体，即可在工件表面形成镀层。
多元多层纳米膜技术
【摘 要】
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该技术是在离子镀技术上发展起来的一项镀膜技术。在真空室内采用真空弧光放电方法激发阴极材料．形成原子和离子，在电场作用下．原子和离子束高速轰击作为阳极的工件表面。与此同
【机 构】
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温州市数码城大厦1802室
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2006年1期
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