间隙对涡轮分子泵性能的影响

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本文分析了涡轮分子泵内动叶片和定片间空隙所产生的影响,讨论了一个基于级间反流传导的简单模型。作者把单级的分析结果结合起来,用来评定多级泵的性能。计算结果表明间隙尺寸对抽速影响很小,而对压缩比的影响却是惊人的,尤其是对于高分子量的气体。最后,本文对不同间隙计算出来的压缩比和抽速与实验结果进行了比较。
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