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MOCVD用MO源的发展概况和研究方法
MOCVD用MO源的发展概况和研究方法
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:FSM0225
【摘 要】
:
概述了国际上MO源的发展概况(包括生产,经营厂家、品种及价格等)和研究方法(包括制备、纯化、分析、封装、毒性及安全技术等),分析了MO源研究的发展趋势。
【作 者】
:
李刚
曾德辉
【机 构】
:
化工部光明化工研究所,化工部光明化工研究所
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
MO源
MOCVD工艺
研究
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概述了国际上MO源的发展概况(包括生产,经营厂家、品种及价格等)和研究方法(包括制备、纯化、分析、封装、毒性及安全技术等),分析了MO源研究的发展趋势。
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