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德国的一些公司为了满足未来格式媒体生产的需要,研发了新的溅镀设备.在这篇文章中我们将对光盘生产中,特别是在可记录多层光盘生产中所采用多层溅镀技术、溅镀系统和原材料进行介绍、讨论和说明.在可擦写DVD格式、DVD-RAM和蓝光光盘生产中我们需要9个分离的溅镀腔来为光盘溅镀不同的金属层.如此多的溅镀层在解决溅镀层表面容量传递和溅镀层厚度的一致性方面都存在着技术难题,不过有一点是十分明确的,在初始化工艺中唯一的一个激光头在整个光盘表面上所停留的时间低于5秒,这就促使了一些公司对DVD生产线的真空部件进行了技术发