【摘 要】
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本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中.对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京,100013
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本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中.对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果.并对一块经过PTB检定的样板进行了测量,测量结果表明对于300nm的台阶高度,测量偏差平均为1.1nm.,This paper presents the calibration of Atomic Force Microscope. The calibration model has been built, which can be used in the calibration of various SPMs. The verifications of non-linearity of axes and the cross-talk between two axes have been developed. The residual errors after calibration have been given. One artifact measured in PTB has been measured in the system. The average measure bias is 1.1 nm for the 300 nm step height between our result and PTB’s.
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