硅片倒角磨轮的研究

来源 :科协论坛·下半月 | 被引量 : 0次 | 上传用户：andrea815

【摘要】

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摘　要：通过在硅片倒角磨轮的使用实验中，对比了烧结法磨轮和电镀法磨轮的使用情况和不同磨轮沟槽的使用效果，为磨轮的选型和磨轮的沟槽设计提供参考。　　关键词：硅片倒角　倒角机　磨轮　烧结法　电镀法　粗糙度　使用寿命　　中图分类号：TN3　　　　文献标识码：A　　　　　文章编号：1007-3973（2012）005-054-02

【作者】

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李战国苗利刚周涛

【出处】

：

科协论坛·下半月

【发表日期】

：

2012年5期

【关键词】

：

硅片倒角倒角机磨轮烧结法电镀法粗糙度使用寿命

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　　摘　要：通过在硅片倒角磨轮的使用实验中，对比了烧结法磨轮和电镀法磨轮的使用情况和不同磨轮沟槽的使用效果，为磨轮的选型和磨轮的沟槽设计提供参考。
　　关键词：硅片倒角　倒角机　磨轮　烧结法　电镀法　粗糙度　使用寿命
　　中图分类号：TN3　　　　文献标识码：A　　　　　文章编号：1007-3973（2012）005-054-02

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