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分析了自加热效应对SON器件性能的影响，并与SOI器件进行了比较，提出构造散热通路的方法来抑制SON器件的自加热效应，分析了不同通路情况对自加热效应的抑制程度，还对散热性能较好的具有不连续空洞埋层的SON器件进行了研究,并分析了空洞大小和横向位置偏差对器件性能的影响，为器件结构设计提供了指导。
新型SON器件的自加热效应
【摘 要】
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分析了自加热效应对SON器件性能的影响，并与SOI器件进行了比较，提出构造散热通路的方法来抑制SON器件的自加热效应，分析了不同通路情况对自加热效应的抑制程度，还对散热性能较好
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年7期
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