【摘 要】
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在半导体加工行业,为了解决人工计算晶圆裸片数量速度慢、劳动强度大等问题,提出了一种基于机器视觉的晶圆裸片自动计数方法：使用Sobel算子对晶圆图像进行边缘检测;通过行扫描
【机 构】
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江苏信息职业技术学院机电工程学院,南京启宸智能技术有限公司
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在半导体加工行业,为了解决人工计算晶圆裸片数量速度慢、劳动强度大等问题,提出了一种基于机器视觉的晶圆裸片自动计数方法：使用Sobel算子对晶圆图像进行边缘检测;通过行扫描和随机抽样一致性（RANSAC）算法对晶圆进行定位;采用改进的RANSAC算法进行切割线的粗拟合;切割线的精确拟合,并利用切割线的交点信息计算晶圆裸片的数量。实验结果表明：对于晶圆裸片的自动计数,提出的方法稳定性好,拥有良好的效率和精度,具有很好的实用价值。
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