【摘 要】
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The oxidation states of Ge nanoparticles in the surface layer of Ge/Si film were studied by X-ray photoelectron spectroscopy. New features appeared at the high
【机 构】
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DepartmentofPhysics
【基金项目】
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supported under a Semiconductor Research Corporation Grant，a National University of Singapore Academic Research Fund
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The oxidation states of Ge nanoparticles in the surface layer of Ge/Si film were studied by X-ray photoelectron spectroscopy. New features appeared at the high binding energy side of the XPS Ge 3d peak when samples were annealedin atmosphere, which were c
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