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利用俄歇电子能谱仪(AES)分析了高场强下不同条件形成的阳极氧化膜中相关元素的分布,分析表明膜中不同程度存在B、C、P等相关元素.测试其相应的介电性能,表明氧铝比R(O∶Al)接近于1.5时其介电性能较好.
高场强下铝阳极氧化膜中相关元素的分布及其介电性能
【摘 要】
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利用俄歇电子能谱仪(AES)分析了高场强下不同条件形成的阳极氧化膜中相关元素的分布,分析表明膜中不同程度存在B、C、P等相关元素.测试其相应的介电性能,表明氧铝比R(O∶Al)
【机 构】
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西安交通大学,西安,710049
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1999年4期
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