【摘 要】
：
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透
论文部分内容阅读
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.
其他文献
6.7.2.2化纤用阻燃剂化纤特别是涤纶分子结构中没有反应中心,阻燃剂的固着要比纤维素纤维困难.因此阻燃整理的耐久性要比纤维素纤维差.涤纶阻燃剂主要类型有:
新版APP、全民推广员计划、多系列精细化私教小团课程……近日，智能健身房全国连锁品牌光猪圈健身在北京举行2018年度品牌战略发布会，确立了“身材雕刻工场”的品牌核心。从此
自从SP工具公司采用了Sescoi的WorkNC CAD／CAM软件之后，进一步的提高了注塑模具和精密模具部件制造的速度和准确性。
目的探讨i PSC-MSC来源的外泌体（exosome,Exo）对LPS刺激的肺泡巨噬细胞释放炎性因子的作用。方法采用旋转超滤法提纯i PSC-MSC外泌体,以无外泌体培养基培养肺泡巨噬细胞NR8383,
他的作品《觅渡，觅渡，渡何处？》发表，曾轰动一时。十年后，瞿秋白牺牲70周年之际，《觅渡》文碑在秋白故居正式揭幕。我们由此专访身为人民日报社副总编辑的作者梁衡，在梁衡身上，记者的
·科学素质行动专题活动背景：春暖花开、阳光明媚、万物苏醒的季节，池塘边又能看见一团团黑色的小蝌蚪了。小蝌蚪是农村儿童比较常见也是比较喜欢的小动物之一。科学（3-6年
诺德针对高清洁要求应用研发的螺旋伞齿轮减速电机，极易清洗，更易冷却，能承受较高的机械应力，而且具有极佳的耐腐蚀和耐酸碱溶液的性能。
在涤棉混纺织物用分散与活性染料一浴湿短蒸法染色工艺探讨中，选用低温耐碱性分散染料配合高温K型活性染料进行单因素分析试验。结果表明该工艺是可行的，与传统常规一浴二步法
在对松柏山水库生态环境现状的调查及对相关资料的研究基础上，针对该水库流域存在的问题，提出相应的治理对策，为水库管理部门科学管理松柏山水库提供科学依据。