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本文对微加工和太赫兹真空电子器件技术进展进行了评论，讨论了微加工和太赫兹真空电子器件可能的应用，也研究了微型器件、微加工的关键技术和需要进一步研究的理论和技术问题。
微加工和太赫兹真空电子器件技术进展
【摘 要】
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本文对微加工和太赫兹真空电子器件技术进展进行了评论，讨论了微加工和太赫兹真空电子器件可能的应用，也研究了微型器件、微加工的关键技术和需要进一步研究的理论和技术问题。
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2017年4期
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