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介绍低温共烧陶瓷层压工艺的特点,拆解分析PTC等静压机各部分的组成结构,详细解析层压设备的工作原理和工艺流程.以理论知识为基础,结合多年的半导体设备维修经验,依据故障树分析法梳理常见的故障现象,并给出相应的处理方法及解决步骤.
PTC等静压机在层压工艺中的故障判断分析
【摘 要】
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介绍低温共烧陶瓷层压工艺的特点,拆解分析PTC等静压机各部分的组成结构,详细解析层压设备的工作原理和工艺流程.以理论知识为基础,结合多年的半导体设备维修经验,依据故障树分析法梳理常见的故障现象,并给出相应的处理方法及解决步骤.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2022年4期
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