α-W膜在单晶硅基片上的共格生长及其力电性能的膜厚效应

来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huei59
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以模板效应为手段,在单品Si-(100)基片上借助预先沉积的Mo膜成功制备出共格生长的α-W薄膜.用X射线衍射、场发射扫描电镜和高分辨透射电镜分析薄膜微结构,用偏振相位移技术分析残余应力,用四点探针技术分析电阻率.结果表明:Mo模板诱导下共格生长出的α-W膜为等轴品,Si基底上则为亚稳态β-W的非等轴晶.两组样品的电阻率和残余应力均随膜厚降低而升高,但β-W膜归因于品粒尺寸减小,即晶界的大量增加;而α-W/Mo双层膜归因于两者之间共格界面的约束作用,当膜厚减至数十纳米后尤其如此.
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