溶胶-凝胶法制备掺钕钛酸铋铁电薄膜

来源 :苏州科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kaiping56

【摘要】

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采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO/Si基片上制备了掺钕(Nd)的Bi4Ti3O12薄膜(Bi4-xNdx)Ti3O12(x=0.85),将薄膜于空气中710℃退火0.5 h,形成BNT多晶薄膜.系统研究了薄膜的结构、电学

【作者】

：

侯芳

【机构】

：

苏州科技学院应用物理系

【出处】

：

苏州科技学院学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法铁电薄膜混合取向抗疲劳特性 sol-gel process ferroelectric films mixed orientation fat

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采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO/Si基片上制备了掺钕(Nd)的Bi4Ti3O12薄膜(Bi4-xNdx)Ti3O12(x=0.85),将薄膜于空气中710℃退火0.5 h,形成BNT多晶薄膜.系统研究了薄膜的结构、电学性质、表面形貌、漏电流、疲劳特性等.结果表明薄膜呈(117)和(00l)的混合取向,显示良好的铁电性(2 Pr=60.8μC/cm2),并呈现良好的抗疲劳特性.

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